UPT2XX系列超纯压力传感器采用半导体专用超纯不锈钢材料、干式全固态结构制造的传感器,以确保满足所需的超纯、无油特性。适用于半导体、光伏、液晶面板制造设备的超纯介质和特殊气体系统的压力测量。
UPT2XX系列 超纯压力传感器
产品概述:
产品特点:
干式无油结构、EP电解抛光、316L VIM-VAR
应用领域:
超高纯气体系统、特气柜、特气分配阀、半导体、光伏制造设备
性能参数:
量 程
0-30MPa(可选)
温度补偿
-10-70°C
精 度
0.25%FS、0.5%FS
工作温度
-20-100°C
输 出
4-20mA、0-5V、0-10V、RS85
安全过载
200%
供 电
24VDC、9-36VDC
极限过载
400%
过程连接
1/4VCR
温度漂移
0.02%FS/°C
电气连接
赫斯曼、防水出线、M12*1
长期稳定性
0.2%FS/年
负载能力
电流型:R=(U-8V)/0.02Ω
接液材质
316L VIM-VAR
产品系列图片:
产品系列尺寸图: