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VCR洁净气体用压力变送器

VCR洁净气体用压力变送器

     UPT2XX系列超纯压力传感器采用半导体专用超纯不锈钢材料、干式全固态结构制造的传感器,以确保满足所需的超纯、无油特性。适用于半导体、光伏、液晶面板制造设备的超纯介质和特殊气体系统的压力测量。

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商品描述

     UPT2XX系列超纯压力传感器采用半导体专用超纯不锈钢材料、干式全固态结构制造的传感器,以确保满足所需的超纯、无油特性。适用于半导体、光伏、液晶面板制造设备的超纯介质和特殊气体系统的压力测量。


UPT2XX系列 超纯压力传感器

产品概述

          UPT2XX系列超纯压力传感器采用半导体专用超纯不锈钢材料、干式全固态结构制造的传感器,以确保满足所需的超纯、无油特性。适用于半导体、光伏、液晶面板制造设备的超纯介质和特殊气体系统的压力测量。


产品特点

      干式无油结构、EP电解抛光、316L VIM-VAR        

应用领域

      超高纯气体系统、特气柜、特气分配阀、半导体、光伏制造设备



性能参数     

量    程

0-30MPa(可选)

温度补偿

-10-70°C

精    度

0.25%FS、0.5%FS

工作温度

-20-100°C

输    出

4-20mA、0-5V、0-10V、RS85

安全过载

200%

供    电

24VDC、9-36VDC

极限过载

400%

过程连接

1/4VCR

温度漂移

0.02%FS/°C

电气连接

赫斯曼、防水出线、M12*1

长期稳定性

0.2%FS/年

负载能力

电流型:R=(U-8V)/0.02Ω

接液材质

316L VIM-VAR


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