该系列产品采用陶瓷电容传感器和硅压阻式 传感器,采用电子控制器与传感器一体化模块设计,具有高可靠性,高稳定性,主广泛应用于各个工业领域的粗、低真空检测。
VT23系列 真空计
产品概述:
VT23系列真空计产品采用陶瓷电容传感器和硅压阻式传感器,采用电子控制器与传感器一体化模块设计,具有高可靠性,高稳定性,主广泛应用于各个工业领域的粗、低真空检测。
产品特点:
高精度、高稳定性、不受气体种类影响、响应快速无迟滞、宽的工作温度范围
应用领域:
半导体制造设备、航空航天。冷冻干燥制作设备、工业真空设备
性能参数:
量 程
0-5torr-1000torr(可选)
温度补偿
-20-85°C
精 度
0.1%FS、0.25%FS、0.5%FS、1%FS
工作温度
-40-125°C
输 出
4-20mA、0-5V、0-10V、RS85
安全过载
200%/1000%
供 电
12-30VDC、9-36VDC
极限过载
400%/2000%
过程连接
KF10、KF16、KF25、1/4VCR
温度漂移
0.02%FS/°C
电气连接
大赫斯曼、防水出线、M12*1
长期稳定性
0.2%FS/年
接液材质
陶瓷、304、316L
外壳材质
304
产品系列图片:
产品系列尺寸图: